STOOR stage voorlichting 2013 Plasma & Materials Processing - PMP - Erwin Kessels www.phys.tue.nl/pmp

PMP staf leden Prof.dr.ir. Erwin Kessels Dr. Richard Engeln Hoogleraar & groepsleider Dr. Richard Engeln Universitair hoofddocent (UHD) Dr. Adriana Creatore Universitair hoofddocent (UHD) Dr. Ageeth Bol Universitair docent (UD) /Department of Applied Physics

En de hele PMP groep… 8-14 BSc/MSc studenten 23 promovendi 7 postdocs 4 technici & 2 secretaresses 3 part-time professoren /Department of Applied Physics

Wat zijn plasma’s? PMP group members - + + - - + - - + Plasma’s zijn een (heet) geioniseerd gas met reactieve deeltjes, zoals electronen, ionen en radicalen. - + + - - + - - + Meer dan 99% van de bekende materie is plasma!!! /Department of Applied Physics

Het bekenste plasma PMP group members The Sun: Temperature ~ 5000 K Energy ~60 MW/m2 At Earth ~1 kW/m2 UV + visible + IR /Department of Applied Physics

Plasma’s in laboratoria en industrie RF capacitief gekoppeld plasma RF inductief gekoppeld plasma DC boogontlading met expanderend plasma /Department of Applied Physics

Waar worden plasma’s gebruikt? Etsen van micro- en nanostructuren voor IC’s in bijv. computers, mobiele telefoons, MP3-spelers, play stations etc. Computers en mobiele devices ondenkbaar zonder plasma’s!!! /Department of Applied Physics

INTEL 3D 22 nm transistor - FinFET /Department of Applied Physics

Waar worden plasma’s gebruikt? Depositie van ultradunne lagen van allerlei materialen voor bijv. zonnecellen Voor zowel “traditionele” zonnecellen maar ook voor nieuwe generatie flexibele zonnecellen /Department of Applied Physics

Waar worden plasma’s gebruikt? Maar ook in de organische elektronica, fotonica, nanotechnologie, etc. /Department of Applied Physics

NanoLab@TU/e /NanoLab@TU/e

Hoofdlijnen onderzoek bij PMP Toegepast onderzoek Fundamenteel onderzoek Physics of plasma & materials processing Nano-engineering of functional materials Advanced plasma & surface diagnostics /Department of Applied Physics

Welke fysica kom je tegen bij PMP? Plasmafysica Maar ook: Optica en laserfysica Oppervlakte-fysica Vaste stoffysica Atoom- en molecuulfysica Chemie Vacuumtechniek Electrotechniek Dit alles experimenteel & theoretisch /Department of Applied Physics

Materiaal en/of plasmagericht!!! Wat kun je doen bij PMP? Nieuwe opstelling bouwen Metingen verrichten Modelleren Programmeren Nieuwe meettechniek implementeren Combinaties van dit alles Materiaal en/of plasmagericht!!! Ook toepassingen! /Department of Applied Physics

Voorbeeld 1: Frank Bloksma – atoomlaagdepositie met plasma’s Pt laagjes atoomlaag voor atoomlaag opgebouwd (0.05 nm per stap) Toepassingen in nanoelektronica, brandstofcellen en (micro-)sensoren Bestuderen van oppervlaktereacties met infraroodspectroscopie + Pt ← 22 µm → + O2 plasma PtOx 100 nm /Department of Applied Physics

Voorbeeld 2: Marc van der Schans – optische emissie spectroscopie techniek Dielectric barrier discharge (DBD) voor CO2 dissociatie Toepassing: het omzetten van CO2 in koolwaterstoffen (solar fuels) Implementatie van nieuwe meettechniek om plasma te bestuderen CO2+ (A2Π – X2Π) CO2+ (A2Σ+ – X2Π) N2 (C3Πu – B3Πg) /Department of Applied Physics

Wat mag je verwachten bij PMP? Doel stage: het in praktijk brengen van je kennis, ervaring opdoen op het gebied van onderzoek zoals dat gebeurt op universiteit (en industrie) Hoogstaand & relevant onderzoek (fundamenteel/toegepast) Meedraaien in een team (opdracht kan echter individualistisch) Vrijheid in keuze/invulling van stage/afstuderen Afhandeling in redelijk korte tijd Moderne apparatuur/voldoende beschikbaarheid middelen Intensieve begeleiding door promovendus en staflid/postdoc Gezellige ‘jonge’ groep met enthousiaste mensen /Department of Applied Physics

En verder… plasma-enhanced soccer team, squash competition & basketball… /Department of Applied Physics

Maar ook… /Department of Applied Physics

Externe contacten in binnen- en buitenland (Buitenlandse) universiteiten Universiteiten in Europa, Verenigde Staten, Japan, Australiëa, etc. Industrie/instituten: NXP Semiconductors Fuji Film TNO ASML FEI Q-Cells ECN Océ Oxford Instruments Hyet Solar InnoPhysics ASM Philips Externe MSc stage of afstuderen /Department of Applied Physics

PMP-ers all over the world… NXP Semiconductors, Eindhoven TNO, Eindhoven FEI electron optics, Eindhoven ASML, Veldhoven Solland Solar, Heerlen Hauzer Techno Coating, Venlo Nuon-Helianthos, Arnhem JET Oxford, U.K. Oxford University, U.K. Ecole Polytechnique Federale Laussanne, Zwitserland Max-Planck Institute Garching, Germany University of Helsinki, Finland Ecole Polytechnique de Montreal, Canada University of California Riverside, V.S. MIT Boston, V.S. University of California Berkeley, V.S. Colorado State University, V.S. Colorado School of Mines, V.S. University of Minnesota, V.S. University of Texas at Dallas, V.S. University of New South Wales, Australië South Western Institute of Physics, China /Department of Applied Physics

studenten-info op www.phys.tue.nl/pmp Contact Prof.dr.ir. Erwin Kessels w.m.m.kessels@tue.nl TNO3.210 Dr. Richard Engeln r.engeln@tue.nl TNO3.234 Dr. Adriana Creatore m.creatore@tue.nl TNO3.218 Dr. Ageeth Bol a.a.bol@tue.nl TNO3.204 Zie ook: studenten-info op www.phys.tue.nl/pmp /Department of Applied Physics

En binnenkort in FLUX (3e etage) Title En binnenkort in FLUX (3e etage) Tot ziens! /Department of Applied Physics