Science & Technology of Plasma & Materials Processing

Presentatie over: "Science & Technology of Plasma & Materials Processing"— Transcript van de presentatie:

1 Science & Technology of Plasma & Materials Processing
Prof.dr.ir. Richard van de Sanden (hoogleraar & groepsleider) Dr. Richard Engeln (UHD) Dr.ir. Erwin Kessels Dr. Adriana Creatore (UD)

2 Science & Technology of Plasma & Materials Processing
But also: Prof.dr. Fred Roozeboom (part-time, NXP) Prof.dr. Niek Lopes-Cardozo (part-time, FOM Rijnhuizen) Prof.dr.ir. Daan Schram (emeritus) 9 postdocs; 14 PhD students; 8-12 BSc/MSc students; 4 technicians

3 Wat zijn plasma’s? - + + - - + - - +
Plasma’s zijn een (heet) geioniseerd gas met reactieve deeltjes, zoals electronen, ionen en radicalen. - + + - - + - - + Meer dan 99% van de bekende materie is plasma!!!

4 Het bekendste plasma The Sun: Temperature ~ 5000 K Energy ~60 MW/m2
At Earth ~1 kW/m2 UV + visible + IR

5 Plasma’s in laboratoria/Industrie
RF inductief gekoppeld plasma RF capacitief gekoppeld plasma DC boogontlading met expanderend plasma Fusie plasma Voorlichting N-studenten – November 2007

6 Waar worden plasma’s gebruikt?
Etsen van micro- en nanostructuren voor IC’s in bijv. computers, mobiele telefoons, etc. Vandaar ook deeltijdhoogleraar Prof. Fred Roozeboom NXP Semiconductors Huidige computers ondenkbaar zonder plasma’s!!! Voorlichting N-studenten – November 2007

7 Waar worden plasma’s gebruikt?
Depositie van ultradunne lagen voor bijv. zonnecellen Voor zowel “traditionele” zonnecellen maar ook voor nieuwe generatie flexibele zonnecellen Voorlichting N-studenten – November 2007

8 Waar worden plasma’s gebruikt?
Maar ook in de fotonica, polymere electronica, nanotechnologie, etc. Voorlichting N-studenten – November 2007

9 Hoofdlijnen onderzoek bij PMP
Toegepast onderzoek Fundamenteel onderzoek Advanced plasma & surface diagnostics Physics and chemistry of plasma & materials processing Micro- and nano-engineering of functional materials Voorlichting N-studenten – November 2007

10 Wat voor fysica kom je tegen bij PMP?
Dit alles experimenteel & theoretisch Vak is dus niet noodzakelijk! Plasmafysica Maar ook: Atoom- en molecuulfysica Vaste stoffysica Optica en laserfysica (diagnostieken zijn vaak optisch van aard) Oppervlakte-fysica en –chemie Chemie Vacuumtechniek Electrotechniek Voorlichting N-studenten – November 2007

11 Wat kun je doen bij PMP? Bouwen van nieuwe opstelling/diagnostiek
Implementeren van nieuwe diagnostiek Meten Modelleren Programmeren Combinaties Materiaal en/of plasmagericht!!! Ook toepassingen! Voorlichting N-studenten – November 2007

12 Wat mag je verwachten bij PMP?
Doel stage: in het praktijk brengen van je kennis, ervaring opdoen op het gebied van onderzoek zoals dat gebeurt op universiteit (en industrie) Hoogstaand & relevant onderzoek (fundamenteel/toegepast) Meedraaien in een team (opdracht kan echter individualistisch) Vrijheid in keuze/invulling van stage/afstuderen Afhandeling in redelijk korte tijd Moderne apparatuur/voldoende beschikbaarheid middelen Intensieve begeleiding door promovendus en staflid/postdoc Gezellige ‘jonge’ groep met enthousiaste mensen Voorlichting N-studenten – November 2007

13 Plasma-Enhanced Soccer Team
Zie web-page voor wedstrijd verslagen: Voorlichting N-studenten – November 2007

14 Voorlichting N-studenten – November 2007
Externe contacten (Buitenlandse) universiteiten Universiteiten in Europa, Verenigde Staten, Japan, Australiëa, etc. Industrie/instituten: NXP Semiconductors Fuji Film TNO ASML FEI Bekeart Océ Oxford Instruments Nuon-Helianthos Solland Solar ASMI Philips 2e stage of afstuderen Voorlichting N-studenten – November 2007

15 PMP-ers all over the world
Sinds 2005: NXP Semiconductors, Eindhoven TNO, Eindhoven Solland Solar, Heerlen Nuon-Helianthos, Arnhem JET Oxford, U.K. Ecole Polytechnique Federale Laussanne, Zwitserland University of California Riverside, V.S. MIT Boston, V.S. University of California Berkeley, V.S. Colorado State University, V.S. University of Texas at Austin, V.S. University of New South Wales, Australië Voorlichting N-studenten – November 2007

16 Contact Zie ook: studenten-info op www.phys.tue.nl/pmp
Prof. dr.ir. Richard van de Sanden Nc1.09 Dr. Richard Engeln Nc1.06 Dr.ir. Erwin Kessels Nc1.04 Dr. Adriana Creatore Nc1.08 Zie ook: studenten-info op Voorlichting N-studenten – November 2007